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伺服系统 升降平台系列
升降平台系列
纳米级定位精度的垂直运动Z向平台,具备非常优秀的动态性能和定位精度。高可靠性驱动机构,使用寿命更长。更大行程可接受定制。
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产品特点
高精度定位
具备非常优秀的动态性能、定位精度,为客户提供Z向精密定位
稳定承载
带有断电抱闸功能,防止重物掉落
定制化需求
可根据客户需求进行评估定制
应用领域
半导体领域内的光刻、检测和封装、外形轮廓测量、生物医疗领域的基因测序、光学透镜检测和精密加工
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直为精驱-高精度定位平台样册
19M
2024-07-29